小型・高性能スパッタリング装置　SC-701型

走査電子顕微鏡（SEM）用試料作製に最適
非常に小型で、簡単操作。
ベルジャーを持ち上げたりする必要のない前面ドア式。

用　途

●走査電子顕微鏡（SEM）試料への導電性膜付け
●デバイスの電極作製
●各種金属コーティング

特　長

●非常に小型なのでどこへでも設置可能です。
●取り扱いはとても簡単。どなたでも綺麗な製膜が可能です。
●本体は小型ですが大きな試料まで対応可能です。
●低価格です。
ターゲットサイズ 50mm dia.
試料サイズ 70mm dia
スパッタ方式 DCスパッタ　/平行平板型
電力 AC100V 10A
外形寸法 160W×310D×300H　mm
重量 約8.5kg