高真空蒸着装置　SVC-700TM

ターボポンプ搭載で高真空雰囲気での蒸着が可能！
走査電子顕微鏡（SEM）用試料作製に最適
非常に小型で、簡単操作。
排気操作は全自動なので非常に簡単。

用　途

●走査電子顕微鏡（SEM）試料への導電性膜付け
●デバイスの電極作製
●各種金属コーティング
●FE-SEMやEPMA等分析試料へのカーボンコーティング

特　長

●非常に小型なのでどこへでも設置可能です。
●取り扱いはとても簡単。どなたでも綺麗な製膜が可能です。
●カーボンフラッシュ電源（オプション）を使用することにより超微粒子のカーボンコーティングが可能です。
●試料回転傾斜ユニット（オプション）装着により均一な膜付けが可能です。
●本体は小型ですが大きな試料まで対応可能です。
●低価格です。
排気能力 70L/sec （TMP）
排気操作 全自動
蒸着用電極 ２　組
電力 AC100V 10A　コンセント
外形寸法 340W×345D×544H　mm
主なオプション ・電離真空計
・膜厚モニタ
・基板加熱ユニット
・基板回転傾斜ユニット
・カーボンフラッシュ電源
・ガス導入/外部導入端子　etc