熱電特性評価装置　ZEM-5シリーズ

熱電材料などの性能評価に対応するため、「熱電特性評価装置ZEM-.3シリーズ」を販売しております。
熱電材料の開発が進むにつれ、各種材料で、より高いレベルの評価が求められるようになりました。

用途

本装置「熱電特性評価装置　ZEM-5」は、高温、高抵抗、薄膜など、各種材料の特徴に特化した仕様で、さまざまなニースにお応えできる性能評価装置です。

特長

●各種熱電材料の特長や薄膜などの特殊仕様に対応したシリーズです。
●高真空/低真空モードが標準機能
●温度検出センサに、Ｃ熱電対を採用し、Ｓｉ系熱電材料（SiGe､MgSiなど)の評価に最適(HT型)
●オーミックコンタクトを自己診断するV/Iプロットを標準装備。
●最高1200℃までの測定が可能。(HT型)
●最大10MΩの高抵抗に対応。(HR型)
●基板に成膜された材料の測定が可能。(TF型)
●-150℃～200℃の温度制御が可能。(LT型)

＜JIS準拠＞
◆熱電能 JIS R 1650-1
◆抵抗率 JIS R 1650-2

型　式 ZEM-5HT ZEM-5HR ZEM-5LT ZEM-ZEM-5TF
特長 高温型 高抵抗型 低中温型 薄膜型
温度範囲 100～1200℃ 50～800℃ -150～200℃ 50～500℃
測定雰囲気 減圧ヘリウムガス中
試料寸法 角2～4mmまたはφ2～4mm長3～15mm 成膜基板：
幅2～4mm×厚0.4～1.2mm×長20mm
薄膜厚：
nmｵｰﾀﾞｰ以上
*ｻﾝﾌﾟﾙ膜と基板の間に絶縁膜を要す
熱電対 C熱電対 R熱電対 K熱電対 R熱電対
測定精度 ゼーベック係数±7%
電気抵抗率±7%（長5mm以下の場合は対象外)

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