
光学像からSEM観察までがシームレス! 観察しながら同時に元素分析!
<主なオプション>
◆傾斜回転モーター駆動ホルダー
◆蛍光X線分析装置 EDS
仕 様 | JCM-7000 | ||
写真倍率 | ×10 ~ 100,000 (128mm×96mmを表示サイズとし倍率を測定) |
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画像モード | 高真空モード:二次電子、反射電子 低真空モード:反射電子 (組成、凸凹、立体、3D) |
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加速圧電圧 | 5kV、10kV、15kV(3段) | ||
電子銃 | タングステンフィラメント・ウェーネルト一体型グリッド | ||
試料ステージ | X-Yモーター駆動ステージ X:40 Y:40mm | ||
最大試料サイズ | 80mm(径)×50mm(高) | ||
自動機能 | アライメント調整、フォーカス、非点、露出調整 | ||
計測機能 | 2点間測定、角度測定、線幅測定 | ||
ファイル形式 | BMP,TIFF,JPEG | ||
コンピュータ | デスクトップPC Windows10 | ||
モニター | 24型 | ||
排気系 | 完全自動、TMP:1台、RP:1台 | ||
本体寸法 | 324mm(幅)×586mm(奥行)×586mm(高) |